卓上型セミオート大気圧プラズマ表面改質装置 MyPL-Autoシリーズ 自動ステージを搭載したセル生産用セミオート機
最大300x600mmサイズのワークを自動で表面改質可能です
卓上型
研究開発・試作用途
MyPL-Auto100 プラズマ･リアクタヘッド部 （ハンディ使用時）
| MyPL-Autoシリーズ ラインナップ |
型番 | MyPL-Auto100 | MyPL-Auto200 | MyPL-Auto300 |
供給電源 | AC 110V, 50/60Hz | AC 110V, 50/60Hz | AC 110V, 50/60Hz |
RF電源 | ～200w | ～300w | ～300w |
周波数 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
キャリアガス | Ar | Ar | Ar |
プロセスガス | O2, N2 | O2, N2 | O2, N2 |
設置環境温度（℃） | 0～50 | 0～50 | 0～50 |
設置環境湿度（%） | 0～90 | 0～90 | 0～90 |
冷却方式 | Air | Air | Air |
ステージストローク （㎜） | 100(X)×250(Y) | 200(X)×250(Y) | 300(X)×600(Y) |
プロセス時間 | ～100mm/sec （可変可能） | ～100mm/sec （可変可能） | ～100mm/sec （可変可能） |
機構方式 | ボールネジアクチュ エータ | ボールネジアクチュ エータ | ボールネジアクチュ エータ |
ドライブ方式 | DCサーボ・ステッピング | DCサーボ・ステッピング | DCサーボ・ステッピング |
プラズマエリア（㎜） | 100 | 200 | 300 |
操作画面 | 7inchタッチパネル | 7inchタッチパネル | 7inchタッチパネル |
制御方式 | PLC | PLC | PLC |
寸法（㎜） | 620(W)×580(D)×400(H) | 620(W)×700(D)×400(H) | 620(W)×750(D)×400(H) |
重量（kg） | 80 | 90 | 100 |
【お問い合わせ先】
実装ソリューション事業部 プラズマ装置営業
電話 ：03-5715-3501
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